シーメンス法 [半導体材料]
半導体シリコンの出発原料は石英です。石英からシーメンス法により高純度なシリコンが製造されます。
— ヒサン@電子材料勉強中 (@Hisan_twi) 2016年1月7日
シーメンス法では①炭素で石英を還元し、②塩酸と反応させトリクロロシランにして精溜し、③水素で還元・熱分解にして高純度シリコンになります。 pic.twitter.com/c0bS3ocHMh
シーメンス法の第一段階、石英の還元はアーク炉にて行われます。この方法は半導体向けのシーメンス法に限らず、一般的なシリコン原料の製造方法と共通しています。この段階でできたシリコンは金属級シリコンと呼ばれ、純度は約98%です。ここから半導体に使われるのは1%未満と言われています。
— ヒサン@電子材料勉強中 (@Hisan_twi) 2016年1月7日
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